日本CKD喜开理微型不锈钢气体质量传感器
FSM3-L005UIAAIAIN-B 是 0.5L/min 量程不锈钢单向 MEMS 微量气体质量流量传感器，搭载可翻转 LCD 数显，IP65 防尘防水，单机兼容空气、氮气等 5 种工业气体；输出 1-5V 模拟量搭配 NPN 报警信号，高精度快响应，流路无树脂析出，多用于半导体、自动化、无尘车间微量氮气与保护气实时流量监测、管路检漏。

Name: 日本CKD喜开理微型不锈钢气体质量传感器FSM3-L010UIAAIAIN-B
Brand: CKD/日本喜开理
Price: 999 CNY
Availability: InStock

产品型号：FSM3-L010UIAAIAIN-B

更新时间：2026-06-17

厂商性质：代理商

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产品介绍

日本CKD喜开理微型不锈钢气体质量传感器

一、产品基础定位

该款为日本 CKD 喜开理 RAPIFLOW® FSM3 系列MEMS 微型不锈钢气体质量流量传感器，满量程 0.5L/min，单向气流测量机型，属于高精度微量气体监测元件，专为微小氮气、保护气、吹扫气等低流量工况设计，搭载 IP65 防尘防水防护，适配无尘洁净工序与多粉尘、易溅水工业环境。

型号拆解说明

L 代表带可翻转 LCD 数字显示屏；005 为满量程 0.5L/min 微量流量规格；U 代表单向气流检测；I 为 SUS 不锈钢全金属流路，不含树脂，无气体析出污染；AA 是直通螺纹管路接口；I 为可旋转液晶显示屏；A 输出配置包含 1 路 1-5V 模拟电压流量信号、1 路 NPN 晶体管报警开关，支持参数复制功能；IN 代表无内置流量调节针阀，标配 1 米 5 芯出线线缆；后缀 B 为 IP65 耐环境升级防护规格。

二、核心性能与检测原理

采用 MEMS 热式质量流量检测方案，直接输出质量流量数值，轻微气压波动不会影响测量结果；重复精度≤±1% FS，整机显示精度≤±3% FS，响应速度低至 50ms，微量气路结构优化，管路压力损耗极低，适合极小流量稳定监测。机身自带按键切换 5 种标准介质：空气、氮气、氩气、二氧化碳、8:2 氩碳焊接混合气，无需更换传感器本体即可切换使用场景。

结构与防护特性

整机流路通体不锈钢材质，无铜、无树脂析出，满足半导体、医药、锂电池禁排气无尘制程要求；整机防护等级 IP65，车间清洗溅水、粉尘堆积环境均可稳定运行，显示屏配有密封保护盖板，闭合状态维持防尘防水性能，开盖后可操作机身按键修改参数、切换气体、设置流量报警阈值。LCD 屏幕支持多角度翻转，横向、垂直安装都能清晰读取实时流量、累计气量、报警状态；自带参数复制功能，多台同规格设备批量调试时一键同步参数，大幅缩短产线调试工时。

电气与安装特性

电气输出分为 1-5V 模拟量信号，可直接对接 PLC 采集实时流量数据；NPN 开关信号可自定义上下限流量报警、断气、流量异常提醒；标配 1 米 5 芯线缆布线便捷，可选配 DIN 导轨支架集中安装。内部无活动阀芯、无易磨损密封件，使用寿命长，日常仅需定期吹扫管路杂质即可完成维护，机身体积小巧，可直接串联在细小气管回路，节省设备安装空间。