日本CKD喜开理半导体产线吹扫专用流量计
CKD FSM3-L010UIAAIAIN-B 是 10L/min 量程不锈钢单向 MEMS 气体质量流量传感器，带可翻转 LCD 数显，IP65 防尘防水，单机兼容空气、氮气等 5 种工业气体；输出 1-5V 模拟量 + NPN 报警开关，高精度快响应，流路无树脂析出，多用于半导体、自动化、洁净产线氮气、保护气实时流量监测与检漏。

Name: 日本CKD喜开理半导体产线吹扫专用流量计FSM3-L010UIAAIAIN-B
Brand: CKD/日本喜开理
Price: 999 CNY
Availability: InStock

产品型号：FSM3-L010UIAAIAIN-B

更新时间：2026-06-17

厂商性质：代理商

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产品介绍

日本CKD喜开理半导体产线吹扫专用流量计

一、产品基础定位

这款是日本 CKD 喜开理 RAPIFLOW® FSM3 系列MEMS 小型气体质量流量传感器，采用不锈钢本体结构，满量程流量规格 10L/min，为单向测量型，适配工业洁净气路、精密气体流量监测场景，属于高精度一体式数显流量监测元件。

二、型号拆解核心参数

流量量程 L010 代表满量程 10L/min；U 代表单向流体测量；I 为不锈钢 SUS 阀体，流路无树脂析出，适配禁排气无尘工序；AA 为直通螺纹接管；I 是自带可翻转 LCD 数字显示屏；A 输出配置为 1 路 1-5V 模拟电压信号 + 1 路 NPN 晶体管开关输出，自带参数复制功能；IN 代表无内置针阀，配 1 米 5 芯标准引出线缆；后缀 B 为 IP65 耐环境防尘防水升级规格。

核心硬件与性能

测量原理：MEMS 热式质量流量检测，直接输出标准工况换算体积流量，不受气压小幅波动干扰；重复精度≤±1% FS，显示精度≤±3% FS，响应速度仅 50ms，流路优化后压力损失相比旧款降低 50%，气路阻力更小。
气体兼容：单机可切换 5 种常用气体，空气、氮气、氩气、二氧化碳、8:2 氩碳保护混合气，机身按键即可切换介质，无需更换传感器本体。
结构防护：不锈钢全金属流路不含铜材质，无微粒析出风险，支持 P70 无尘防发尘包装选配；整机防护等级 IP65，粉尘、设备清洗溅水环境均可稳定使用，显示屏带保护盖板，开盖操作按键、闭合后恢复防尘防水能力。
显示与调试：LCD 屏幕可多角度旋转翻转，垂直、横向安装都能清晰读数；支持批量参数复制，多台同规格设备调试时可一键同步阈值、气体类型参数，大幅缩短产线调试时间。
电气对接：1-5V 模拟流量信号直连 PLC 采集实时流量，NPN 开关点可设置上下限报警、缺气、流量异常触发，5 芯 1 米出线布线简单，支持搭配 IO-Link 模块实现远程参数修改、设备数据上云追溯。