中村代理日本ULVAC爱发科皮拉尼真空计
皮拉尼真空计，可以测量从大气压到5×10-2Pa的广泛的压力范围
该真空计从传统的控制器（传感器单元）中除去操作·显示部，最大限度凝缩精简功能，使「降成本」和「省空间」成为可能。

中村代理日本ULVAC爱发科皮拉尼真空计

皮拉尼真空计基于气体热传导性与压力相关的原理工作，ULVAC 爱发科通过先进的制造工艺与技术优化，极大提升了测量精度。其能够精准测量从低真空到中真空范围的压力值，精度可达满量程的 ±1% 甚至更高 。例如在半导体制造工艺里，对真空环境要求严苛，ULVAC 爱发科皮拉尼真空计可精确反馈真空室内的压力变化，为诸如物理气相沉积（PVD）、化学气相沉积（CVD）等工艺提供稳定且准确的真空度数据，确保薄膜沉积的均匀性与一致性，有助于提升芯片制造的良品率与性能。

快速响应

该真空计具备快速的响应特性，能在极短时间内感知真空系统内压力的细微变化，并及时输出对应的测量信号。一般情况下，其响应时间可在毫秒级别，这使得操作人员能够迅速了解系统内的真空状态变化 。在需要频繁调整真空度的科研实验或工业生产过程中，快速响应的皮拉尼真空计可以让相关人员及时对真空设备进行调控，避免因反应滞后导致的工艺偏差。如在真空镀膜过程中，能实时监测镀膜腔室压力变化，及时调整镀膜参数，保证镀膜质量。

宽量程适用

ULVAC 爱发科皮拉尼真空计覆盖了较宽的压力测量范围，通常可从大气压一直测量至 10⁻³ Pa 甚至更低的真空度 。这种宽量程的设计使其适用于多种不同应用场景。在食品真空包装行业，可用于检测包装过程中的真空度，从初始抽气阶段的较高压力，到最终密封前接近高真空的状态，都能准确测量；在电子半导体领域，无论是芯片制造前的真空腔室准备，还是后续精密工艺过程中的真空监测，宽量程的皮拉尼真空计都能全程提供可靠的压力数据。

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