日本进口ULVAC爱发科HR60多级罗茨型干泵
通过高温领域的泵体均热化，实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出的一款泵。

日本进口ULVAC爱发科HR90多级罗茨型干泵

耐特殊环境：提高了耐溶解和粉末排出性能，专为利用溶解气体和有粉末排出的工艺设计，适用于在含有多种碳氢化合物（油类）、残留切削油和清洁液的环境中进行测量。

操作便捷：通过与 PC 或智能手机连接，可以进行设定点设置、状态确认等操作。还具备灯丝寿命通知功能，通过监测灯丝功率，可提前通知灯丝寿命，便于及时维护和更换。

功能多样：配合不同的真空计及可选单元，可实现更广泛的功能，如检查腔体开启情况，可用于有机 EL、触摸屏等制造设备的极限压力确认以及工艺管理用真空炉等各种工业真空设备的极限压力确认。

小型化：与之前的产品相比，实现了尺寸的大幅缩小，控制器体积缩小 56%，成为同级别最小的产品之一，节省安装空间。

日本进口ULVAC爱发科HR90多级罗茨型干泵

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