
COSMOS 新宇宙半导体材料气体检测仪 XPS-7II 的操作使用方法如下:
开机与准备
气体检测
选择传感器:仪器采用模块化传感器设计,通过更换专用盒式传感器单元,可检测氯气、氯化氢、氨气、硅烷等多种半导体工艺常用毒性气体及特殊材料气体。将所需的传感器单元正确插入仪器中。
放置仪器:将仪器放置在需要检测的环境中,仪器会自动以 350±100ml/min 的流量抽取气体进行检测。仪器应答速度快,60 秒内即可达到 60% 响应。
读取数据:检测结果通过 LED 数字显示,可显示测定值、表示状态、电量、数据存储状态等信息。指示精度达满量程 ±10% 以内,显示分辨率根据气体种类可达满量程的 1/100 或 1/200。
报警设置与响应
数据记录与传输
关机与维护