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COSMOS新宇宙半导体材料气体检测仪 XPS-7II的操作使用

更新时间:2025-11-03点击次数:95

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COSMOS 新宇宙半导体材料气体检测仪 XPS-7II 的操作使用方法如下:
  • 开机与准备

    • 安装电池:使用 4 节 5 号碱性电池或专用 AC 适配器为仪器供电。

    • 开机:按下电源开关,仪器进行初始化,包括自检和传感器预热。根据传感器类型和环境条件,预热时间可能有所不同,一般需要几分钟。

  • 气体检测

    • 选择传感器:仪器采用模块化传感器设计,通过更换专用盒式传感器单元,可检测氯气、氯化氢、氨气、硅烷等多种半导体工艺常用毒性气体及特殊材料气体。将所需的传感器单元正确插入仪器中。

    • 放置仪器:将仪器放置在需要检测的环境中,仪器会自动以 350±100ml/min 的流量抽取气体进行检测。仪器应答速度快,60 秒内即可达到 60% 响应。

    • 读取数据:检测结果通过 LED 数字显示,可显示测定值、表示状态、电量、数据存储状态等信息。指示精度达满量程 ±10% 以内,显示分辨率根据气体种类可达满量程的 1/100 或 1/200。

  • 报警设置与响应

    • 报警设置:仪器具备两段式报警功能,可根据实际需求设置报警阈值。

    • 报警响应:当气体浓度达到预设阈值时,仪器会通过蜂鸣器间歇鸣叫(浓度升高时频率加快,高浓度时连续鸣叫)、红色报警灯闪烁及 LCD 闪烁三重提示,确保现场人员快速察觉风险。

  • 数据记录与传输

    • 数据记录:仪器内置存储功能,可记录最近 1000 条数据。

    • 数据传输:支持 USB 或蓝牙传输,可将数据传输至 PC 或移动端,以便进行进一步的分析和处理。

  • 关机与维护

    • 关机:按下电源开关,持续数秒,直到仪器屏幕显示关闭,即可完成关机操作。

    • 维护:仪器采用一体化盒式传感器单元,更换时无需进行气体校正,仅需简单插拔即可完成传感器更换,单人操作即可完成维护。


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